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簡(jiǎn)要描述：BTF-1700C-CVD1700度高溫CVD系統 （高真空 低真空可選）是由1700度管式爐、三路質(zhì)量流量計系統以及國產(chǎn)高真空系統（或選配低真空系統）所組成。
產(chǎn)品型號：廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2021-09-27訪(fǎng) 問(wèn) 量：4047詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
設備1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選）特點(diǎn)
此款1700℃高溫CVD系統，是由1700度管式爐、三路質(zhì)量流量計系統以及國產(chǎn)高真空系統(或選配低真空系統)所組成。此設備主要用于:真空或氣氛燒結、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實(shí)驗環(huán)境. 設備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠，溫場(chǎng)均勻，結構合理，氣路選用液晶屏觸摸界面，使得操作異常簡(jiǎn)單、方便;設備的各項技術(shù)參數，30段可編程溫控系統更是一目了然,使整個(gè)實(shí)驗的運行狀態(tài)盡在您的掌控之中。
1700度高溫CVD系統 (高真空 低真空可選）
加熱區參數 | 爐管尺寸：Φ60/80×1000mm(管徑可選) 加熱元件：硅鉬棒 加熱區長(cháng)度：300mm 恒溫區長(cháng)度：150mm 工作溫度：1550℃ 最高溫度：1650℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度：±1℃ 推薦升溫速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min 工作電源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz 額定功率：5.2 KW 外型尺寸：610×440×720 mm 標準配件：高純剛玉管1支，氧化鋁管堵2對，不銹鋼法蘭1套，氟膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支，小保險1個(gè); 密封系統：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭)，端口可按實(shí)際使用擴展。 |
氣路系統參數
| 質(zhì)量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm (量程可選) 準確度：±1.5% 線(xiàn)性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時(shí)間：≤10sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 最大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數字顯示 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體 內外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：-0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類(lèi)型：雙卡套不銹鋼接頭。 可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質(zhì)量流量計 |
低真空系統參數
| 抽速：10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220v 50hz 電機功率：0.4kw 進(jìn)排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機轉速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計參數： 1.配用規管：電阻規， 2.測量范圍： 105～10-1 Pa， 3.測量路數： 1路 4.控制范圍： 5×103～5×10-1Pa， 5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負載 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W 采用波紋管手動(dòng)擋板閥與真空系統相連接 |
高真空系統參數
| 空氣相對濕度：≤85% 工作電壓：AC220V±10% 50/60HZ 功率：1KW 系統整體極限真空度：10-5Pa 實(shí)驗真空度：10-3Pa 外形尺寸：850×600×650mm 機械泵: 抽氣速率：10m3/h 容油量：1.1L 電機功率：400W 極限壓強：6×10-2Pa 分子泵: 抽氣速率：100L/S 極限壓強：6×10-6Pa 啟動(dòng)時(shí)間：＜2min 額定轉速：4300轉/分 冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時(shí)，風(fēng)冷；5-40℃時(shí)，水冷。 分子泵控制器: 電壓：220V±22V 啟動(dòng)電流：≤7A 輸入頻率：47HZ~63HZ 最大輸出功率：≤150W 最大加速電壓：≤40V 加速時(shí)間：≤3min 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ 復合真空計: 測量路數：2路（電阻規、電離規各1路） 工作模式：手動(dòng)/自動(dòng) 電阻單元參數 規管型號：電阻規 測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數 規管型號：電離規 可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 規管除氣方式：焦耳去氣 其他參數 控制路數：4路 控制方式：點(diǎn)動(dòng)或區域控制/帶掉電記憶 控制精度：±1% 采樣時(shí)間：1s 電源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用環(huán)境溫度：0℃~45℃ 濕度：≤85% 連接管路：采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s，采用波紋管手動(dòng)擋板閥與真空系統相連接。 |
備注： | 可根據工藝要求選配低真空或高真空系統。 |
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