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簡(jiǎn)要描述：迷你型CVD系統控溫方式：模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能
產(chǎn)品型號：廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2021-09-27訪(fǎng) 問(wèn) 量：2339詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
迷你型CVD系統加熱區參數 | 爐管尺寸：外徑Φ25/50*600mm (管徑可選) 加熱元件；電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 恒溫區長(cháng)度；80mm 工作溫度：1100℃ 推薦升溫速度：20℃/min 最快升溫速度：≤100℃/min 爐門(mén)結構：開(kāi)啟式 額定功率：2KW 外型尺寸：350×290×345 mm 標準配件：石英管1根，不銹鋼密封法蘭1套，硅膠密封圈2套，氧化鋁管堵4只，高溫手套1副，坩堝鉤1支，小保險1個(gè)。 密封系統：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭），端口可按實(shí)際使用擴展。 |
迷你型CVD系統氣路系統參數
| 質(zhì)量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可選） 準確度：±1.5% 線(xiàn)性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時(shí)間：≤10sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 最大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數字顯示 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體 內外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表；－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類(lèi)型：雙卡套不銹鋼接頭。 備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計。 |
低真空系統參數
| 抽速：10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220v 50hz 電機功率：0.4kw 進(jìn)排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機轉速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計參數： 1.配用規管： 電阻規， 2.測量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.測量路數： 1路 4.控制范圍： 5×103 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
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