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迷你型CVD系統

簡(jiǎn)要描述:迷你型CVD系統控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2021-09-27
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:2416

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迷你型CVD系統加熱區參數

 爐管尺寸:外徑Φ25/50*600mm (管徑可選)

 加熱元件;電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)
 加熱區長(cháng)度:230mm

 恒溫區長(cháng)度;80mm

 工作溫度:1100℃
 最高溫度:1200℃
 控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能
 控溫精度;±1℃

 推薦升溫速度:20℃/min

 最快升溫速度:≤100℃/min

 爐門(mén)結構:開(kāi)啟式
 工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

 額定功率:2KW

 外型尺寸:350×290×345 mm

 標準配件:石英管1根,不銹鋼密封法蘭1套,硅膠密封圈2套,氧化鋁管堵4只,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個(gè)。

 密封系統:爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭),端口可按實(shí)際使用擴展。

迷你型CVD系統氣路系統參數

 

 質(zhì)量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm (量程可選)

 準確度:±1.5%

 線(xiàn)性:±0.5~1.5%

 重復精度:±0.2%

 響應時(shí)間:≤10sec

 工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

 最大壓力:3MPa

 接口:Φ6,1/4''

 顯示:4位數字顯示

 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

 內外雙拋不銹鋼管:Φ6

 壓力真空表;-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止閥:Φ6

 連接頭類(lèi)型:雙卡套不銹鋼接頭。

 備注:可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計。

低真空系統參數

 

 抽速:10m3/h

 極限真空度:5*10-1pa

 電源:220v 50hz

 電機功率:0.4kw  

 進(jìn)排氣連接口:KF25

 用油量:1.1L

 電機轉速:1440rpm

 工作環(huán)境溫度:5-40℃

 噪音:≤56db

 電阻真空計參數:

 1.配用規管: 電阻規,

 2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

 3.測量路數: 1路

 4.控制范圍: 5×103 ~5×10 -1 Pa,

 5.控制方式:繼電器觸點(diǎn)輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負載,

 6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

 7.功耗: 20W


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