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石墨烯生長(cháng)

簡(jiǎn)要描述:低真空CVD石墨烯生長(cháng)系統是由1200度開(kāi)啟式管式爐、精密的質(zhì)量流量控制系和真空系統所組成。廣泛應用在半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領(lǐng)域。

  • 產(chǎn)品型號:BTF-1200C-CVD
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2021-10-14
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:2981

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應用領(lǐng)域電子,綜合

  石墨烯生長(cháng)系統主要特點(diǎn):該設備是由1200度開(kāi)啟式管式爐、精密的質(zhì)量流量控制系和真空系統所組成。廣泛應用在半導體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領(lǐng)域。

 1.石墨烯生長(cháng)系統加熱系統

最高溫度

1200℃

使用溫度

≤1100℃

石英管尺寸

Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1000mm

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類(lèi)型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數自整定。

加熱長(cháng)度

440mm

恒溫區長(cháng)度

200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,220V,50Hz

2、三路質(zhì)子流量控制系統

連接頭類(lèi)型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

200sccm,500sccm、1000sccm(可根據用戶(hù)要求定制)

準確度

±1.5%F.S

線(xiàn)性

±1%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

3、低真空機組

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動(dòng)擋板閥與波紋管相連




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