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    BTF-1200C-R-PECVD等離子體增強回轉PECVD系統

    更新時(shí)間：2021-11-10

    型號：BTF-1200C-R-PECVD

    瀏覽量：1847

    等離子體增強回轉PECVD系統 主要特點(diǎn) 我司研制的回轉PECVD系統能使整個(gè)實(shí)驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。
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